从HEPA 过滤器出来的大流量的干燥洁净层状气体通常在层状气流中带有静电电荷，同时带电的气流也有可能使洁净区域内的所有表面带上电荷。这些表面带电后会导致产品损坏或干扰敏感的电子设备或元器件，同样会导致 ESA静电放电，静电吸附并造成产品污染等问题。